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美國Tousimis Autosamdri-931 潔凈室版觸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品,凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品,以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品,是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法;具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。Autosamdri-931 Cleanroom系列,采用防靜電設計,適合潔凈室(超凈間)材料制造應用;默認“自動(dòng)模式”設置,適用于大多數晶圓和裸片MEMS應用;每次可處理多達 5片基板(晶圓或裸片);該系列為臺式臨界點(diǎn)干燥儀,有3個(gè)型號可選:1)Autosamdri-931_1.25",用于1"的晶圓臨界點(diǎn)干燥。2)Autosamdri-931_2.50",用于不超過(guò)2"的晶圓臨界點(diǎn)干。3)Autosamdri-931_3.40",用于不超過(guò)3"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

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產(chǎn)品詳情

美國Tousimis Autosamdri-931 Cleanroom系列

觸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

該系列為臺式臨界點(diǎn)干燥儀,可在超凈間工作,有3個(gè)型號可選:

1)Autosamdri-931_1.25",用于1"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

2)Autosamdri-931_2.50",用于不超過(guò)2"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

3)Autosamdri-931_3.40",用于不超過(guò)3"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱(chēng)為臨界點(diǎn)干燥(又稱(chēng)超臨界干燥),因為它存在狀態(tài)的連續性,即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區別,分界面的表面應力降到零。這種現象具有特定的溫度和壓力,被稱(chēng)為臨界點(diǎn)。零表面應力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品,避免了表面應力對試樣的損壞。 
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理(梯度脫水),但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi,很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2,它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合,因而必須用第三種介質(zhì),通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體,即CO2 從液體轉為氣體時(shí),在臨界點(diǎn)無(wú)表面應力對樣品的破壞。

 

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

?防靜電設計,適合潔凈室材料制造應用

?明亮的觸摸屏控制

?默認“自動(dòng)模式”設置,適用于大多數晶圓和裸片MEMS應用

?每次可處理多達 5片基板(晶圓或裸片)

?創(chuàng )建和存貯用戶(hù)自定義程序,用于不同樣品

?“慢充”功能可保護大部分脆弱樣品

?快速冷卻腔室(1到3分鐘內從25°C冷卻至3°C)

?采用免維護渦流旋動(dòng)法進(jìn)行置換攪拌,無(wú)需攪拌棒

?外部可更換的0.5μm置換后過(guò)濾器,便于維護

?配備耐氟樣品架,可選不同腔室分別用于干燥3" 、 2"直徑的晶圓或邊長(cháng)為10mm的方形裸片

?對于外部鋼瓶供應的液態(tài)CO2進(jìn)行顆粒過(guò)濾,截留率為99.5%以上

?內部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室, 顆粒過(guò)濾低至0.08μm,截留率為99.999%以上

?內置冷凝器,分離廢棄乙醇和二氧化碳,消除任何管路凍結或機體靜電,整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

?"Stasis軟件" ,干燥凝膠和其它復雜樣品

 

主要技術(shù)規格

? 工作腔室尺寸:有三種腔室直徑可供選擇 1.25"、2.50" 、3.40"

? 壓力測量范圍:0-2000psi. 

? 溫度測量范圍:-30°C to 60°C 

? 控制方式:觸摸屏全自動(dòng)程序控制

 

常規配置

? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應軟管,便于現場(chǎng)安裝 

? 液體 CO2系統輸送過(guò)濾

? 耐氟樣品架:基于不同尺寸腔室分別用于干燥3"、2"的晶圓或邊長(cháng)為10mm的方形裸片

? 柔性排氣管易于安裝 

? 備用腔室 O 形圈、腔室燈和保險絲

 

注:美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史,在中國客戶(hù)中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類(lèi),前者常用于電鏡制樣,后者多用于超凈間內的材料研究用途;

非潔凈室版本共有7款CPD:

1)Samdri?-PVT-3D常規臨界點(diǎn)干燥儀

2)Samdri?-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

3)Autosamdri?-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

4)Autosamdri?-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

5)Autosamdri?-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

6)Autosamdri?-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7)Autosamdri?-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD:

1)Autosamdri?-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers

2)Autosamdri?-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

3)Automegasamdri?-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

4)Autosamdri?-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

5)Autosamdri?-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

6)Autosamdri?-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7)Autosamdri?-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

8)Automegasamdri?-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)`干燥儀

9)Automegasamdri?-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品,凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品,以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓(最大樣品尺寸8英寸,一次同時(shí)干燥5片)等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品,是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法;具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)??蛻?hù)可基于不同的應用選擇不同的型號。

具有鋼結構工程專(zhuān)業(yè)承包二級資質(zhì)、建筑工程施工總承包貳級資質(zhì);公司主營(yíng)產(chǎn)品包括重鋼、輕鋼、網(wǎng)架及檁條、彩鋼板等鋼結構產(chǎn)品;近年來(lái),公司承接了國內外大型結構件、橋梁、車(chē)庫、標準化廠(chǎng)房等具有較大影響力的一系列項目;產(chǎn)品遠銷(xiāo)白俄羅斯、贊比亞、印尼等國家,得到了一致好評。

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